項目組開發的產品屬微電子技術裝備,為我國的極大規模集成電路產業提供達到國際一流水準的創新型核心裝備。產品已經廣泛應用于高校科研院所的半導體工藝設備,如清華大學、香港理工大學、北京師范大學等等,而且正在逐步進入中國的IC裝備業,目前已經與北方微電子、中微半導體、沈陽拓荊、七星華創建立了合作關系,即將為這些國內頂級IC廠商提供達到國際一流水準的創新型固態射頻電源,提升這些廠商整機設備的本土產品配套率。
項目組開發的產品屬微電子技術裝備,為我國的極大規模集成電路產業提供達到國際一流水準的創新型核心裝備。產品已經廣泛應用于高校科研院所的半導體工藝設備,如清華大學、香港理工大學、北京師范大學等等,而且正在逐步進入中國的IC裝備業,目前已經與北方微電子、中微半導體、沈陽拓荊、七星華創建立了合作關系,即將為這些國內頂級IC廠商提供達到國際一流水準的創新型固態射頻電源,提升這些廠商整機設備的本土產品配套率。