極紫外(EUV)光刻膠材料

極紫外(EUV)光刻膠材料

交易信息:
完全轉讓-0.00 元
技術領域:
應用領域:
最后更新時間:2022-07-28 15:21
所在地:
吉林省 長春市 南關區
所有者:
飆飆
聯系方式:
13756056562
具有自主知識產權的EUV光刻膠的成功研發,填補了我國在超高精細光刻膠研發領域的空白,將為擺脫國內高檔光刻膠材料完全依賴進口的格局,促進我國集成電路制造產業的健康發展起到積極的促進作用。在此工作的基礎上,以獲得的光刻膠主體材料為核心,通過配方和工藝研發,實現了193nm曝光機光刻,為我國開展193nm和193nm浸沒式光刻膠的研發打下了基礎。

具有自主知識產權的EUV光刻膠的成功研發,填補了我國在超高精細光刻膠研發領域的空白,將為擺脫國內高檔光刻膠材料完全依賴進口的格局,促進我國集成電路制造產業的健康發展起到積極的促進作用。在此工作的基礎上,以獲得的光刻膠主體材料為核心,通過配方和工藝研發,實現了193nm曝光機光刻,為我國開展193nm和193nm浸沒式光刻膠的研發打下了基礎。

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