當一束激勵X射線照射到樣品上，鍍層和基底中的元素都放射出特征熒光X射線（XRF）。鍍層熒光X射線的強度隨鍍層厚度而增加;基底熒光X射線的強度隨鍍層厚度而降低。根據這類關系，測定熒光X射線的強度，便可以計算出鍍層的厚度。普通XRF儀器的照射區域比較大，不適用于精微細小、形狀復雜的樣品。微區XRF儀器將微束X射線集中照射在很小的區域內（專利ZL94112117.8），采用激光定位技術（專利ZL97235392.5），能方便地選擇樣品上任意部位進行精確測量。XRF微區鍍層測厚儀的國內市場需求量每年約300臺（以每臺20萬計算，每年需求額約6000萬元），絕大部分來自三家外國公司（美國CMI公司，德國Fischer公司和日本精工舍公司）。中科院上海應用物理研究所凝聚其30多年從事X射線熒光（XRF）技術研究的經驗，結合其近年來在微區分析領域取得的成果，于1994年研制成功XRF系列微區鍍層測厚儀，受到用戶好評。這項研究成果的目標是在鍍層質量檢驗中，用我國高新科學技術，取代昂貴的進口儀器。該項產品已通過國家技術監督局鑒定，性能指標達到進口儀器的水平，它的價格只有進口儀器的幾分之一，是一種比較先進而實用的質量檢驗儀器，適合于電子元件，精密機械 ，鐘表眼鏡，制筆工藝，珠寶首飾及其它電鍍行業推廣使用。
